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産品名稱:XYZ直線(xiàn)電(diàn)機滑台
産品概要:
-- 直線(xiàn)軸XYZ納米級定位精(jīng)度;
-- 精(jīng)密交叉滾柱導軌。
-- 主體(tǐ)鋁合金材質(zhì)
産品精(jīng)度:
-- XY軸重複精(jīng)度±100nm
-- Z軸重複精(jīng)度±200nm
産品名稱:XYθ平台
産品概要:
-- 直線(xiàn)軸XY+旋轉軸θ電(diàn)機平台;
-- 小(xiǎo)行程精(jīng)密運動場合;
産品精(jīng)度:
-- XY軸重複精(jīng)度±0.5μm
-- θ旋轉軸精(jīng)度±2.5arcsec
産品名稱:耦合平台
産品概要:
-- 直線(xiàn)軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電(diàn)機平台;
-- 适用(yòng)光纖耦合;
産品精(jīng)度:
-- XYZ軸重複精(jīng)度0.3μm
-- ABC旋轉軸重複精(jīng)度±1.5arc sec
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